洁净室等级的划分，主要是根据每立方米空气中大于等于μm尘粒数与5μm尘粒数的区域来进行划分。百级洁净室每立方米（升）空气中》μm尘粒数《35*100（〈〉；千级洁净室每立方米（升）空气中》μm尘粒数《35*1000（〈35〉，每立方米（升）空气中》5μm尘粒数《250（〈〉；万级洁净室每立方米（升）空气中》μm尘粒数《35*10000（〈350〉，每立方米（升）空气中》5μm尘粒数《2500（〈〉；十万级洁净室每立方米（升）空气中》μm尘粒数《35*100000（〈3500〉，每立方米（升）空气中》5μm尘粒数《25000（〈25〉。
